气氛退火炉
发布时间：2017/07/03
主要技术参数及指标：
1、设备结构形式：卧式、前开门、不锈钢材料，真空室两端密封处采用双层水冷结构；
2、系统空载极限真空度≤5×10-5Pa,；工作时充工艺气体至大气状态，工作温度高850℃；
3、高工作时间50小时以上；温度均匀性±5℃，控温精度：±1℃；
4、炉膛有效空间?310×2950m；有效均温区?310×2000mm；
5、采用外部加热方式，圆筒形结构。
6、加热方式采用三区加热、独立测温控温方式，PID智能温控仪程序控温；三点控温，三点测温；
7、设备带有保护装置，不会因为误操作而对设备造成损坏。
8、系统采用工控机+PLC控制方式，自带软件，可以设定并实时显示及采集工艺过程
中的温度、真空度等参数，并可长期保存和打印。
9、系统具有手动及全自动两种控制方式。
