真空热处理设备
发布时间：2017/07/03
1、主要用途：
用于各种金属材料或者薄膜的高温退火。
2、技术指标：
系统真空度：极限真空:5×10-6Pa；整个系统漏率小于1×10-7Pa·L/S工作真空:8×10-3Pa (1000℃退火温度下)．程序控温，均温区尺寸根据用户要求设计)。
工艺气体： H2或者其他非氧化性气体（也可不选）。
3、系统组成：
主要由真空抽气系统、真空测量系统、真空室、加热控温系统、电动升降系统、液氮冷阱、
辅助系统等组成。
